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今や、微細加工技術の１つとして、レーザビームを用いた加工処理は一般的となり、また、それを行う為の装置関連も飛躍的な進歩を遂げています。
いままで当社では、そのような装置の部品としての光学製品を供給してまいりました。特に、パターニング処理を施した反射ミラーであるレーザ用マスクは、パッケージ等へのマーキング及び微細穴あけ加工等の用途として多用されています。
フォトファブリケーションを駆使した製品ですので、ファインパターンを形成出来る事が特徴です。
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製品例
・各種半導体レーザ用全反射ミラー
・ハーフミラー
・ＹＡＧレーザマーキング用ガラスマスク
・エキシマレーザ加工機用ガラスマスク等
基板：各種ガラス、金属等
表面処理：ＡＬ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ａｕ等の各種金属膜コーティング、誘電体膜コーティング
ガラスエッチング、サンドブラスト処理等
パターニング法：薄膜エッチング、リフトオフ、 ガラスエッチング、サンドブラスト等
☆その他、詳細につきましては担当までお問い合わせ下さい。
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