真空蒸着法により基板上へ無機膜を多層コート致します。

多層コートによる光の干渉で特定の色のフィルターとなります。
多層コートの条件を変えることにより違った色のフィルターが出来ます。

ＲＥＤ・ＧＲＥＥＮ・ＢＬＵＥそれぞれの条件で加工した多層膜を同一基板上に配列パターニングすることが可能です。
多層コートの条件を変えることにより違った色のフィルターが出来ます。
ＢＬＡＣＫ（低反射Ｃｒ膜等）のパターニングと組み合わせてＦＰＤ用のカラーフィルターとして使用出来ます。

パターニングは、膜をフォトエッチングすることが出来ないため、リフトオフ法を使って行います。
その為、有機タイプのフィルターよりも製造時の工数が多くなりますが、膜の耐久性においては有機タイプに比べると格段に優れています。