応用技術
各種レーザーマスク＆ミラー
今や、微細加工技術の１つとして、レーザビームを用いた加工処理は一般的となり、また、それを行う為の装置関連も飛躍的な進歩を遂げています。 いままで当社では、そのような装置の部品としての光学製品を供給してまいりました。特に、パターニング処理を施した反射ミラーであるレーザ用マスクは、パッケージ等へのマーキング及び微細穴あけ加工等の用途として多用されています。 フォトファブリケーションを駆使した製品ですので、ファインパターンを形成出来る事が特徴です。
製品例
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・各種半導体レーザ用全反射ミラー
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・ハーフミラー
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・ＹＡＧレーザマーキング用ガラスマスク
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・エキシマレーザ加工機用ガラスマスク等
| 基板： | 各種ガラス、金属等 |
| 表面処理： | ＡＬ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ａｕ等の各種金属膜コーティング、誘電体膜コーティング ガラスエッチング、サンドブラスト処理等 |
| パターニング法： | 薄膜エッチング、リフトオフ、 ガラスエッチング、サンドブラスト等 |
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